Räni mikropulbri tootmismeetod

Esiteks lisab triklorosilaani meetod sünteesiahju kuiva ränipulbrit ja läbib kloorimisreaktsiooni sisestatud kuiva vesinikkloriidgaasiga vaskkloriidkatalüsaatori juuresolekul {{0}} kraadi juures. Reaktsioonigaas eraldatakse lisandite eemaldamiseks tsükloniga ja seejärel kondenseeritakse gaasiline triklorosilaan kaltsiumkloriidiga külmutatud soolase vee abil vedelikuks. See destilleeritakse ja kondenseeritakse toordestilleerimistornis, et eemaldada kõrge keemistemperatuuriga ja madala keemistemperatuuriga ained, ning seejärel destilleeritakse ja kondenseeritakse destilleerimistornis, et saada rafineeritud triklorosilaani vedelik. Puhtus peaks olema 7 või rohkem "9", lisandite sisaldus peaks olema väiksem kui 1 × 10-7 ja boorivajadus peaks olema alla 0,5 × 10-9. Puhastatud triklorosilaan saadetakse roostevabast terasest redutseerimisahju, kus redutseerijana kasutatakse ülipuhast vesinikgaasi, et redutseerida see 1050-1100 kraadi juures räniks. Ränisüdamikku kasutatakse kandjana polükristalliliste ränitoodete ladestamiseks.

Teiseks segage ligikaudu 95% SiO2 sisaldusega ränidioksiid ja madala tuhasisaldusega koks, kuumutage redutseerimiseks umbes 1900 kraadini. Selle meetodiga toodetud räni puhtus on 97% ~ 98%, mida nimetatakse metalliliseks räniks. Pärast metallilise räni sulatamist toimub see ümberkristallimisel ja lisandid eemaldatakse happega, et saada metallist räni puhtusega 99,7–99,8%. Selle pooljuhträni valmistamiseks on vaja muuta see vedelaks või gaasiliseks vormiks, mida on lihtne puhastada, ning seejärel saada polükristalliline räni destilleerimise ja lagundamise teel. Kõrge puhtusastmega räni saamiseks on vaja täiendavat puhastustöötlust.

Kolmandaks segage umbes 95% SiO2 sisaldusega ränidioksiidi ja madala tuhasisaldusega koksi ning kasutage 1000-3000kVA avatud kaarahju, et kuumutada temperatuurini umbes 1900 kraadi, et vähendada.